CWP系列产品阴极均水平安装，产品装夹在载板上从阴极处连续通过。设备由多组模块化真空腔室组成，腔室内可配置平面阴极或移动平面阴极、旋转阴极、线性离子源等功能部件，可对工件表面进行离子清洗和刻蚀，实现金属、金属化合物等各类材料的真空沉积。
