Semiconductors

外延设备

制造先进芯片需要近乎完美的晶体材料,外延设备是生长晶体材料的关键设备,广泛应用于集成电路、功率器件、硅材料、第三代半导体等领域。作为中国外延工艺装备技术的开拓者,北方华创早在2010年就启动外延装备的研发工作,经过十余年的技术沉淀与创新突破,北方华创已然形成具有核心技术优势的品类齐全、应用广泛的外延设备系列化产品,具备多种材料外延生长技术能力:包括单晶硅、多晶硅、碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)等,覆盖集成电路、功率器件、射频、半导体照明等领域应用需求。


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