FLVP系列产品阴极均竖直安装，产品装夹在载板上从阴极处连续通过。设备由多组模块化真空腔室组成，腔室内可配置铠装或红外加热、阳极层离子源或弧光离子源、直流溅射磁控阴极、反应溅射磁控阴极、阴极电弧等不同技术部件，实现金属、金属化合物以及碳系涂层的制备。
