化学气相渗透注入工艺(CVI)是化学气相沉积(CVD)法的一种延伸，是指将一种或几种烃类气体化合物经高温分解、缩聚之后炭沉积在多孔介质内部，使材料致密化的方法，是新发展起来的制备无机材料新技术，该技术主要用于制备各种高温陶瓷基复合材料，包括碳/碳复合材料和以碳化物、氮化物为基质的材料，CVI设备主要应用于光伏辅材的碳纤维气体沉积。