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Semiconductors

Hesper E230A

12英寸单片常压硅外延系统

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Hesper E230A 12英寸单片常压硅外延系统
Hesper E230A 12 Inch Single Wafer Atmospheric Pressure Silicon Epitaxy System
Hesper E230A 为单片双腔常压硅外延设备,主要用于12英寸硅外延工艺。该机台能够实现从薄膜外延的厚膜外延的兼容。通过红外灯分区加热系统和温控系统,可以实现温场的精准控制;并配合独创的进气结构,使得外延过程流场和温场均匀性较优,获得优异的工艺指标,达到行业先进水平。
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