Satur系列为多片式MOCVD外延设备，适用于4/6/8英寸的硅基/蓝宝石基/碳化硅基氮化镓外延工艺及砷化镓/磷化铟外延工艺，可应用于功率器件、Micro-LED、射频器件领域及LED、光伏、光通讯领域。Satur 系列采用盒对盒全自动传输，先进的实时控制系统、大面积均匀温度场、大范围稳定可调气流场，能够满足化合物半导体先进器件对外延层组分、厚度和掺杂均匀性的高要求。