NMC612C应用于12英寸干法刻蚀工艺,深耕成熟Logic、CIS、BCD以及Power等领域,已在客户端稳定量产十年,有程度BKM。主要应用为浅沟槽隔离刻蚀,栅极刻蚀、侧墙刻蚀等制程,具有丰富的工艺调试手段、较高的刻蚀均匀性以及量产稳定性。