多功能刻蚀机采用采用高密度等离子体源，刻蚀速率高、均匀性好，颗粒控制能力优异，易维护，性能稳定。在SAW滤波、传感器件的制备等方面性能优异，具备快速导产的能力。同时工艺的兼容性高，可刻蚀介质、金属、化合物等多种材料，在科研、高校、新兴领域的应用非常广泛。
