金属刻蚀机主要用于6/8英寸金属干法刻蚀工艺。该机台为多腔室集群设备，能够进行全自动并行工艺处理。产品通过独创设计可以实现超长MTBC。Al、W等刻蚀使用同种配置，有效节省维护成本。广泛应用于8寸IC、功率器件、化合物半导体等领域。
