BMD P300 是基于微波等离子体技术研发的表面处理设备,兼容8/12英寸晶圆,最多可配置3个腔室,6个反应台。基于稳定可靠的微波等离子装置,良好的双反应台硬件设计,为先进封装领域的表面处理应用提供性能卓越、兼容性优良的解决方案。BMD P300 主要适用于封装领域去除PR、PI、PBO、Release layer等去胶及金属离子去除应用。